[发明专利]压电多层部件有效
申请号: | 200980110311.0 | 申请日: | 2009-01-22 |
公开(公告)号: | CN101978519A | 公开(公告)日: | 2011-02-16 |
发明(设计)人: | O·德诺夫泽克;A·格拉朱诺夫 | 申请(专利权)人: | 埃普科斯股份有限公司 |
主分类号: | H01L41/083 | 分类号: | H01L41/083;H01L41/047;H01L41/24 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张涛;李家麟 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种作为中间产品的压电多层部件,其具有上下相叠布置的未烧结的压电陶瓷层(2)的叠层(1)。第一电极层(3a)施加在压电陶瓷层(2)上并且包含第一金属。结构化的牺牲层(4)施加在另一压电陶瓷层上,在叠层方向上与所述第一电极层相邻,并且与所述第一电极层相比包含更高浓度的第一金属。如果烧结所述中间产品,则所述结构化的牺牲层(4)中的第一金属扩散到第一电极层并且与此同时留下空腔,所述空腔形成脆弱层。 | ||
搜索关键词: | 压电 多层 部件 | ||
【主权项】:
一种作为中间产品的压电多层部件,具有:‑上下相叠布置的未烧结的压电陶瓷层(2)的叠层(1),其中,‑第一电极层(3a)施加在压电陶瓷层(2)上并且包含第一金属,其中,‑牺牲层(4)施加在另一压电陶瓷层上并且在叠层方向上与所述第一电极层相邻,其中,‑所述牺牲层(4)与所述第一电极层(3a)相比包含更高浓度的第一金属。
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