[发明专利]压电薄膜及其制造方法、角速度传感器、利用角速度传感器进行的角速度的测定方法、压电发电元件及使用压电发电元件的发电方法有效
| 申请号： | 200980110747.X | 申请日： | 2009-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN101981718A | 公开（公告）日： | 2011-02-23 |
| 发明（设计）人： | 张替贵圣;足立秀明;藤井映志 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;C23C14/08;H01L41/08;H01L41/18;H01L41/22;H01L41/24 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种压电薄膜及其制造方法，该压电薄膜包含不含铅的强介电材料，变现出与PZT同等水平的高的压电性能。本发明的压电薄膜具有依次叠层有具有(100)的面方位的金属电极膜、(Bi，Na)TiO3膜和具有(001)的面方位的(Bi，Na，Ba)TiO3膜的叠层结构。本发明的压电薄膜能够应用于广泛的领域和用途，例如，能够利用本发明的压电薄膜形成传感灵敏度出色的本发明的角速度传感器以及发电特性出色的压电发电元件。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 薄膜 及其 制造 方法 角速度 传感器 利用 进行 测定 发电 元件 使用 | ||
【主权项】：
一种压电薄膜，其特征在于，具有：依次叠层有具有(100)的面方位的金属电极膜、(Bi，Na)TiO3膜和具有(001)的面方位的(Bi，Na，Ba)TiO3膜的叠层结构。
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