[发明专利]借牺牲保护构件的激光微加工无效
| 申请号： | 200980110804.4 | 申请日： | 2009-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN101980816A | 公开（公告）日： | 2011-02-23 |
| 发明（设计）人： | 里欧·鲍德温 | 申请（专利权）人： | 伊雷克托科学工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/04 | 分类号： | B23K26/04;B23K26/42;B23K26/36 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 激光加工一工件(110)的一工作表面(108)上的一目标位置(106)处的一小特征。指引一沿着一射束路径传播的激光束(104)以入射于该工作表面(108)上的该目标位置(106)处以加工该小特征。在该射束路径中在距该工作表面(108)一短工作距离(x1)处设定一聚焦透镜(112)，该聚焦透镜(112)经设定大小以将该激光束(104)会聚于该工作表面(108)上，以激光加工该小特征且借此自该工件朝向该聚焦透镜往回喷射目标材料。一定位于该聚焦透镜(112)与该工作表面(108)之间的牺牲保护构件(114)在未有可感知的失真或吸收的情况下传递由该聚焦透镜(112)聚焦且入射于该工作表面(108)上的该激光束(104)。该牺牲保护构件(114)截断该喷出目标材料以防止一足够量的材料到达且借此可感知地污染该聚焦透镜(112)。 | ||
| 搜索关键词： | 牺牲 保护 构件 激光 加工 | ||
【主权项】：
一种建构一激光微加工系统(100)以激光加工一工件(110)的一工作表面(108)上的一目标位置(106)处的一小特征的方法，其包含：指引一沿着一射束路径传播的激光束(104)以入射于一工件(110)的一工作表面(108)上的一目标位置(106)处，以加工该工件(110)的一小特征；在该射束路径中且在距该工作表面(108)一短距离处设定一聚焦透镜(112)，该聚焦透镜(112)经设定大小以将该激光束(104)会聚于该工作表面(108)上以激光加工该小特征且借此自该工件(110)朝向该聚焦透镜(112)往回喷出目标材料；及在该聚焦透镜(112)与该工件(110)的该工作表面(108)之间定位一牺牲保护构件(114)，该牺牲保护构件(114)在未有可感知的失真及吸收的情况下传递由该聚焦透镜(112)聚焦且入射于该工作表面(108)上的该激光束(104)，且该牺牲保护构件(114)截断该喷出目标材料以防止一足够量的材料到达并借此可感知地污染该聚焦透镜(112)。
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