[发明专利]扫描成像装置有效
| 申请号： | 200980110931.4 | 申请日： | 2009-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN101981437A | 公开（公告）日： | 2011-02-23 |
| 发明（设计）人： | 松本和浩 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64;G01N21/78;G01N37/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 杨小明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 扫描成像装置具有将用于激发的第一斑点光和用于焦点检测的两个第二斑点光照射到基板4的流路上的斑点光投影部101和用于拾取当被第一斑点光激发时从流路中的检测目标发射的光的图像的成像部102。第二斑点光中的一个在流路的顶面处被反射，并且，第二斑点光中的另一个在流路的底面处被反射，以及，焦点位置调整机构，用于沿流路的深度方向调整第一斑点光和第二斑点光中的每一个的焦点位置，使得通过比较在流路处反射的第二斑点光中的一个和另一个的强度来确定的流路的深度方向的第一斑点光和第二斑点光的焦点位置的偏离量。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 成像 装置 | ||
【主权项】：
一种扫描成像装置，包括：照射单元，所述照射单元用于至少将用于聚焦的斑点光照射到用于检测的目标基板上；光学系统，所述光学系统具有传感器阵列，所述传感器阵列用于接收来自用于检测的目标基板中的检测目标的光和从用于检测的目标基板反射的斑点光；和扫描单元，所述扫描单元用于驱动所述光学系统，以至少沿主扫描方向扫描用于检测的目标基板，其中，所述斑点光被照射到用于检测的目标基板中的与检测目标不同的位置上，以及，其中，从用于检测的目标基板反射的斑点光被接收以读出从中获取聚焦信号和检测信号的信号。
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