[发明专利]电阻变化元件及其制造方法

摘要

本发明提供一种电阻变化元件及其制造方法，该电阻变化元件的特征在于，包括：第一电极(103)；第二电极(107)；以及，设置成介于第一电极(103)和第二电极(107)之间，并与第一电极(103)和第二电极(107)相接，能够基于施加在第一电极(103)和第二电极(107)之间的极性不同的电信号产生可逆变化的电阻变化层，其中，电阻变化层由氧不足型过渡金属氧化物层构成，第二电极(107)由具有微小突起(108)的铂构成。

主权项

一种电阻变化元件，其特征在于，包括：第一电极；第二电极；和电阻变化层，其被设置成介于所述第一电极和所述第二电极之间，并与所述第一电极和所述第二电极相接，其能够基于施加在所述第一电极和所述第二电极之间的极性不同的电信号产生可逆变化，其中，所述电阻变化层由包含第一氧不足型过渡金属氧化物层和含氧率比所述第一氧不足型过渡金属氧化物层高的第二氧不足型过渡金属氧化物层的两层叠层结构构成，所述第二氧不足型过渡金属氧化物层与所述第二电极相接，所述第二氧不足型过渡金属氧化物层具有局部膜厚较薄的部分。