[发明专利]周期性缺陷检测装置及其方法

摘要

本发明涉及周期性缺陷检测装置及其方法。周期性缺陷检测装置包括：传感器(4)；小区域选择单元(72、74)，决定多个区域长度比区域短的小区域的位置，使得所述小区域在周期性缺陷的排列方向上以相邻的距离间隔全部相等的方式分离，并且从传感器输出中选择与这多个小区域的位置对应的信号；评价指数计算单元(76)，在由小区域选择单元选择出的多个信号间算出信号模式相互的类似性的评价指数；设定值变更单元(73、75)，变更小区域的位置和距离间隔，反复进行小区域选择单元和评价指数计算单元的运算处理；和周期判定单元(77)，在评价指数比预先设定的值高的情况下，将距离间隔判定为周期。周期性缺陷检测方法包括：信号输入步骤；小区域选择步骤；评价指数计算步骤；设定值变更步骤；和周期判定步骤。

主权项

一种周期性缺陷检测装置，其包括：传感器，用于获得对被检体上的长度比所预测的缺陷周期长的区域的性状进行评价的信号；小区域选择单元，决定多个区域长度比所述区域短的小区域的位置，使得所述小区域在周期性缺陷的排列方向上以相邻的距离间隔全部相等的方式分离，并且从所述传感器输出中选择与所述多个小区域的位置对应的信号；评价指数计算单元，在由该小区域选择单元选择出的多个信号间算出信号模式相互的类似性的评价指数；设定值变更单元，变更所述小区域的位置和所述距离间隔，反复进行所述小区域选择单元和所述评价指数计算单元的运算处理；和周期判定单元，在所述评价指数比预先设定的值高的情况下，将所述距离间隔判定为周期。