[发明专利]惯性力传感器

摘要

提供抑制角速度的检测精度的劣化，并且提高故障诊断的诊断精度的惯性力传感器。该惯性力传感器包括：具有驱动电极、监视电极、检测电极的振子；对驱动电极通电驱动信号并使振子振动的驱动电路；基于起因于惯性力并从检测电极输出的检测信号检测角速度的检测电路；基于从监视电极输出的监视信号而控制驱动信号的通电量的振动控制电路；以及对检测电路输入模拟角速度信号并进行故障诊断的故障诊断电路，在故障诊断时，是设置了切换在检测电路中包含的滤波器电路的特性并缩短延迟时间的滤波器切换电路的结构。

主权项

惯性力传感器，包括：具有驱动电极、监视电极、检测电极的振子；对所述驱动电极通电驱动信号并使所述振子振动的驱动电路；基于起因于惯性力并从所述检测电极输出的检测信号检测角速度的检测电路；基于从所述监视电极输出的监视信号控制所述驱动信号的通电量的振动控制电路；以及对所述检测电路输入模拟角速度信号并进行故障诊断的故障诊断电路，所述检测电路具有对所述检测信号进行滤波的滤波器电路，在所述故障诊断时，切换所述滤波器电路的特性。