[发明专利]包含用于高温量测的加热源反射滤光器的设备

摘要

本发明公开了用于处理基板以及使用辐射高温计测量温度的方法与设备。在处理腔室的窗上具有反射层。辐射源能提供第一波长范围的辐射，所述辐射源加热所述基板，所述基板在预设温度范围中对于所述第一波长范围中的第二波长范围为透明。所述反射层反射所述第二波长范围中的辐射。

主权项

一种处理基板的系统，包含：热源，所述热源提供第一波长范围的辐射；高温计，所述高温计通过侦测在所述第一波长范围中的第二波长范围的辐射而测量基板的温度，所述基板位于腔室的处理区内；及窗，所述窗将所述热源与所述基板隔离，所述窗用对于所述第一波长范围的辐射为透明的材料制成，并且所述窗具有单一反射涂层，所述单一反射涂层覆盖在所述热源与所述基板之间的全部表面，所述全部表面仅选自所述窗朝向所述热源的一侧，所述反射涂层反射所述第二波长范围的辐射，其中所述窗有效地防止所述第二波长范围的辐射透射至所述高温计，并且其中所述第一波长范围为400‑4000nm，且所述第二波长范围为700‑1000nm，且其中具有所述反射涂层的所述窗有效防止所述热源所发出的所述第二波长范围的辐射透射温度低于400℃的基板，并且其中所述反射涂层在所述第二波长范围中的光反射对光透射的透射比的比值至少为1000。