[发明专利]用于微机电系统传感器的弹性构件有效
| 申请号： | 200980112796.7 | 申请日： | 2009-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN101999080A | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 阿伦·A·盖斯贝格尔 | 申请（专利权）人： | 飞思卡尔半导体公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;B81B7/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 刘光明;穆德骏 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种设备(96)包括微机电(MEMS)传感器(40)。传感器(40)包括适合于在第一方向(44)上运动的可移动元件(42)和耦合到基板(48)的固定器(46)。MEMS传感器(40)还包括弹性构件(50)，弹性构件(50)互连在可移动元件(42)和固定器(46)之间。每个弹性构件(50)包括基本上平行对齐布置的梁(56、58、60)，梁(60)设置在其他梁(56、58)之间。梁(56、58)中的每一个耦合至固定器(46)，且梁(60)耦合到可移动元件(42)。每个弹性构件(50)还包括支撑结构(64)，该支撑结构(64)与梁(56、58)结合以对弹性构件(50)的梁(56、58)提供垂直刚度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微机 系统 传感器 弹性 构件 | ||
【主权项】：
一种设备，包括：微机电系统(MEMS)传感器，所述传感器包括：可移动元件，其适合于在第一方向上运动；固定器，其耦合到基板；以及弹性构件，其互连在所述可移动元件和所述固定器之间，所述弹性构件中的每一个包括基本上平行对齐布置的第一梁、第二梁和第三梁，所述第三梁位于所述第一梁和所述第二梁之间，所述第一梁和所述第二梁中的每一个耦合至所述固定器和所述可移动元件中的一个，且所述第三梁耦合到所述固定器和所述可移动元件中的另一个。
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