[发明专利]用于归一化光学发射光谱的方法和装置有效
| 申请号： | 200980112878.1 | 申请日： | 2009-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101990704A | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 维贾雅库马尔·C·韦努戈帕尔;埃里克·佩普;吉恩保罗·布思 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01L21/3065 | 分类号： | H01L21/3065;H05H1/34 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 周文强;李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于等离子发射原位光学解调，用以定量测量等离子室内的归一化光学发射光谱的装置。该装置包括闪光灯和一组石英窗。该装置还包括多个准直光学组件，该准直光学组件与该组石英窗光学耦合。该装置进一步包括多个光纤维束，其至少包括照明光纤维束、收集光纤维束以及参考光纤维束。该装置更进一步包括多通道光谱仪，其至少配置有信号通道和参考通道。该信号通道至少与该闪光灯、该组石英窗、该组准直光学组件、该照明光纤维束以及收集光纤维束光学耦合，用以测量第一信号。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 归一化 光学 发射光谱 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于等离子发射原位光学解调以定量测量等离子室内的归一化光学发射光谱的装置，包括：闪光灯；一组石英窗；多个准直光学组件，该多个准直光学组件与该组石英窗光学耦合；多个光纤维束，该多个光纤维束至少包括照明光纤维束、收集光纤维束以及参考光纤维束；以及多通道光谱仪，该多通道光谱仪至少配置有信号通道和参考通道，该信号通道至少与该闪光灯、该组石英窗、该组准直光学组件、该照明光纤维束以及该收集光纤维束光学耦合，用以测量第一信号。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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