[发明专利]用于放置基板支撑元件的方法和装置

摘要

一种用于将黏粘性材料沉积到电子基板上的装置，包括机架，连接至机架的单元，该单元被配置用于将材料沉积到电子基板上，以及连接至机架的基板支撑组件。该基板支撑组件被设置用于支撑所述电子基板。该基板支撑组件包括多个支撑元件，连接至机架的平台，该平台具有支撑表面以支撑所述多个支撑元件中的至少一个支撑元件，置放头，其被配置成可释放地固定至少一个支撑元件，以及连接至机架和置放头的运送装置。该运送装置被配置成相对于平台在X轴和Y轴方向移动置放头，从而将至少一个支撑元件放置在平台的支撑表面上的预定位置。该装置进一步包括连接至机架的成像系统和连接至成像系统的控制器。该成像系统被设置用于获取平台的支撑表面的图像。根据成像系统所获得的图像，该控制器可以被设置用于核实至少一个支撑元件是否位于平台的支撑表面上的预定的位置上。还公开了该装置的其他实施例和相关的方法。

主权项

一种用于将黏性材料沉积在电子基板上的装置，所述装置包括：机架；连接至所述机架的单元，所述单元被配置成将材料沉积在所述电子基板上；连接至所述机架的基板支撑组件，该基板支撑组件被配置成用于支撑所述电子基板，所述基板支撑组件包括，多个支撑元件，连接至机架的平台，所述平台具有支撑表面以支撑所述多个支撑元件中的至少一个支撑元件，置放头，其被构造成可释放地固定所述至少一个支撑元件，以及运送装置，其被连接至机架和所述置放头，所述运送装置被构造成用于相对于所述平台在X轴和Y轴方向移动所述置放头，从而将所述至少一个支撑元件放置在所述平台的支撑表面的预定位置；成像系统，其被连接至机架，所述成像系统被设置成用于获取所述平台的支撑表面的图像；以及控制器，其被连接至成像系统，所述控制器被设置成依据所述成像系统获取的图像来核实所述至少一个支撑元件是否被放置在所述平台的支撑表面的预定位置上。