[发明专利]无损检测半导体材料内部缺陷的方法和设备无效
| 申请号： | 200980114435.6 | 申请日： | 2009-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN102016563A | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 克劳斯·克莱玛 | 申请（专利权）人： | 克莱玛博士声显微术研究所有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/04 | 分类号： | G01N29/04;G01N29/22;G01N29/265;G01N29/27 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 公开了一种无损检测半导体材料(2)的内部缺陷的设备和方法。半导体材料(2)具有长度(L)、横截面区(Q)以及与所述长度(L)对齐的侧面(5)。超声波设备(10)被分配到所述半导体材料(2)。此外，设置在所述超声波设备(10)和半导体材料(2)的侧面(5)之间产生沿着半导体材料(2)的侧面(5)的长度(L)的相对运动的机构(9)。 | ||
| 搜索关键词： | 无损 检测 半导体材料 内部 缺陷 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种用于无损检测半导体材料(2)的内部缺陷的方法，所述半导体材料(2)具有长度(L)以及横截面区(Q)，所述方法的特征在于以下步骤：设置超声波设备(10)，其中，在所述超声波设备(10)和所述半导体材料(2)的侧面(5)之间产生相对运动，沿着所述半导体材料(2)的长度(L)移动所述超声波设备(10)；在所述半导体材料(2)和所述超声波设备(10)之间的所述相对运动期间，从所述超声波设备(10)向所述半导体材料(2)发射超声波脉冲，与此并行地，记录与时间和空间有关的来自所述半导体材料(2)内部的对所述超声波脉冲的超声波回波信号，使得从整块所述半导体材料(2)捕获所述半导体材料(2)的内部缺陷；在所述半导体材料(2)为圆柱状的情况下，在所述超声波设备(10)沿着所述半导体材料(2)的长度(L)移动期间，捕获直到所述半导体材料(2)的中心(M)的至少一个扇形区，或者在所述半导体材料(2)为长方体状的情况下，在所述超声波设备(10)沿着所述半导体材料(2)的第一外表面的长度(L)移动期间，捕获直到所述半导体材料(2)的中央面(3)的至少一个长方体(31)；以及通过介质(8)将所述超声波脉冲耦合到所述半导体材料(2)以及通过所述介质(8)耦合来自所述半导体材料(2)的所述超声波回波信号。
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