[发明专利]投影透镜装置有效
| 申请号： | 200980114873.2 | 申请日： | 2009-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN102017053A | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 简·J·维兰德;伯特·J·坎菲尔贝克;亚历山大·H·V·范维恩;皮特·克鲁伊特;斯蒂杰恩·W·H·K·斯蒂恩布林克 | 申请（专利权）人： | 迈普尔平版印刷IP有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/12 | 分类号： | H01J37/12;H01J37/30;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 丁艺;沙捷 |
| 地址： | 荷兰*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种使用多个子束(21)照射目标(11)的带电粒子多子束系统。该系统包括其中形成有多个孔(18)的第一板(12、13、14)，具有在各孔的位置处形成的多个静电投影透镜系统，使得各电子子束通过相应的投影透镜系统。孔具有充分一致的布局和尺度，使得能够用公共控制电压(V1、V2、V3)将子束聚焦到目标的表面上。优选地，静电投影透镜系统由公共电信号控制，来在不校正单个电子子束的焦点和路径的情况下将电子子束聚焦到表面上。 | ||
| 搜索关键词： | 投影 透镜 装置 | ||
【主权项】：
一种带电粒子多子束系统，用于使用多个子束照射目标，该系统包括：第一板，具有形成在其中的多个孔；多个静电投影透镜系统，形成于各孔的位置处，使得各电子子束通过相应的投影透镜系统；其中所述孔具有充分一致的布局和尺度，使得通过使用公共控制电压能够使所述子束聚焦到目标表面上。
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