[发明专利]蒸发系统无效
| 申请号： | 200980115073.2 | 申请日： | 2009-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN102046834A | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | Q·胡 | 申请（专利权）人： | 光实验室瑞典股份公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;H01J9/02 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 南毅宁;周建秋 |
| 地址： | 瑞典萨尔*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种蒸发系统(100)，该蒸发系统包括真空室(102)、用于容纳蒸发材料的坩埚(104)、用于容纳衬底(114)的衬底架(112)以及用于对要被淀积在所述衬底上的所述蒸发材料进行加热的电子束源(116)，其中所述电子束源与坩埚和衬底架一起被布置在真空室内，电子束源是场致发射电子束源，以及蒸发系统还包括用于控制由场致发射电子束源所发射的电子的方向的控制单元，从而使所发射的电子对蒸发材料进行加热以便蒸发材料蒸发。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 系统 | ||
【主权项】：
一种蒸发系统，该蒸发系统包括：真空室；用于容纳蒸发材料的坩埚；用于容纳衬底的衬底架；以及用于对要被淀积在所述衬底上的所述蒸发材料进行加热的电子束源，其中所述电子束源与所述坩埚和所述衬底架一起被布置在所述真空室内，其特征在于，所述电子束源是场致发射电子束源，以及所述蒸发系统还包括控制单元，该控制单元用于控制由所述场致发射电子束源所发射的电子的方向，从而使所发射的电子对所述蒸发材料进行加热以使所述蒸发材料蒸发。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于光实验室瑞典股份公司，未经光实验室瑞典股份公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980115073.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：便于更换智能模块的光伏接线盒
- 下一篇：一种光伏汇流装置
- 同类专利
- 专利分类
