[发明专利]电容型机电变换器的制造方法和电容型机电变换器有效
| 申请号： | 200980115089.3 | 申请日： | 2009-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN102015127A | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | 张建六 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B06B1/02 | 分类号： | B06B1/02;B81B3/00;H01L21/306 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 卜荣丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在电容型机电变换器的制造方法中，在基板(4)上形成第一电极(8)，在第一电极(8)上形成具有引向第一电极的开口(6)的绝缘层(9)，并且，在绝缘层上形成牺牲层。在牺牲层上形成具有第二电极(1)的膜片(3)，并且，在膜片中设置作为蚀刻剂入口的孔径。蚀刻牺牲层以形成空腔(10)，并且然后密封用作蚀刻剂入口的孔径。通过经由开口(6)和膜片的孔径使电流在第一电极(8)和外部设置的对电极之间流动的电解蚀刻，来执行蚀刻。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 机电 变换器 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种电容型机电变换器的制造方法，包括：在基板上形成第一电极；在第一电极上形成绝缘层，该绝缘层具有引向第一电极的开口；在绝缘层上形成牺牲层；在牺牲层上形成膜片，该膜片具有第二电极；设置从外面引向牺牲层的孔径作为蚀刻剂入口；蚀刻牺牲层以形成空腔；和密封用作蚀刻剂入口的孔径，其中，通过经由开口、牺牲层和孔径使电流在第一电极和外部设置的对电极之间流动的电解蚀刻，来执行蚀刻。
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