[发明专利]原位差分谱仪有效
| 申请号： | 200980116526.3 | 申请日： | 2009-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN102016525A | 公开（公告）日： | 2011-04-13 |
| 发明（设计）人： | M·维茨-依拉凡尼;M·那瑟尔戈德斯;G·赵 | 申请（专利权）人： | 恪纳腾公司 |
| 主分类号： | G01J3/00 | 分类号： | G01J3/00;G01J3/42 |
| 代理公司： | 北京嘉和天工知识产权代理事务所 11269 | 代理人： | 严慎 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 具有电子束生成器的谱仪，所述电子束生成器用于生成被导向试样的电子束。电子束定位器将所述电子束引导至所述试样上的适当位置上，并且从而产生来自所述试样的二次发射流，其中所述二次发射流包括电子和X射线中的至少一种。二次发射流定位器将所述二次发射流定位到检测器阵列上，所述检测器阵列接收所述二次发射流并且检测所述二次发射流的量和被接收到的位置两者。调制器调制被引导至所述试样上的所述电子束，并且从而在所述试样上的第一位置和第二位置之间扫描所述电子束。提取器与所述调制器和所述检测器阵列两者信号通信。 | ||
| 搜索关键词： | 原位 差分谱仪 | ||
【主权项】：
一种谱仪，所述谱仪包括电子束生成器，所述电子束生成器用于生成被导向试样的电子束；电子束定位器，所述电子束定位器用于将所述电子束引导至所述试样的适当位置上，并且从而产生来自所述试样的二次发射流；二次发射流定位器，所述二次发射流定位器用于将所述二次发射流定位到检测器阵列上，并且所述检测器阵列用于接收所述二次发射流并且检测所述二次发射流的量和被接收到的位置两者，其中所述二次发射流包括电子和X射线中的至少一种，其改进在于，所述谱仪包括调制器，所述调制器用于调制所述被引导至所述试样上的电子束的位置，并且从而在所述试样上的第一位置和第二位置之间扫描所述电子束；以及提取器，所述提取器与所述调制器和所述检测器阵列两者信号通信，用于提取表征从所述第一位置接收到的信号与从所述第二位置接收到的信号之间的差别的差分信号。
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