[发明专利]带有氧化物层的基体及其制造方法无效
| 申请号： | 200980117258.7 | 申请日： | 2009-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN102026770A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 蛭间武彦;冈东健;秋田阳介;户丸善宽 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/40;G02F1/1343;H01J9/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 王海川;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种带有图案化的氧化物层的基体的制造方法，包括：在基体上依次形成显示透明导电性的氧化物层、金属层，从金属层的外表面侧向金属层照射脉冲激光，从而除去脉冲激光照射部位的金属层和氧化物层，所述脉冲激光的能量密度为0.3～10J/cm2、重复频率为1～100kHz、脉冲宽度为1ns～1μs，和通过腐蚀除去金属层。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 氧化物 基体 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种带有图案化的氧化物层的基体的制造方法，包括：在基体上依次形成显示透明导电性的氧化物层、金属层，从金属层的外表面侧向金属层照射脉冲激光，从而除去脉冲激光照射部位的金属层和氧化物层，所述脉冲激光的能量密度为0.3～10J/cm2、重复频率为1～100kHz、脉冲宽度为1ns～1μs，和通过腐蚀除去金属层。
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