[发明专利]使用RF功率传递的时间分解调频方案以用于脉冲等离子体工艺的方法及设备有效
| 申请号： | 200980117820.6 | 申请日： | 2009-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN102027810A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | S·巴纳;V·托多罗;K·拉马斯瓦米 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/36 | 分类号： | H05H1/36;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆勍 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的实施例大体而言提供一种用于在广工艺窗口(wide process window)内进行脉冲等离子体工艺的方法及设备。在某些实施例中，一设备可包括一具有调频的RF电源及一耦接至该RF电源的匹配网络，该RF电源与该匹配网络共享一共同感应器，该共同感应器用于读取反射回该RF电源的反射RF功率。在某些实施例中，一设备可包括一具有调频的RF电源、一耦接至该RF电源的匹配网络及一用于调谐各个该RF电源及该匹配网络的通用控制器，该RF电源与该匹配网络共享一共同感应器，该共同感应器用于读取反射回该RF电源的反射RF功率。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 rf 功率 传递 时间 分解 调频 方案 用于 脉冲 等离子体 工艺 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种设备，包含：一具有调频的第一RF电源；一耦接至该第一RF电源的第一匹配网络；及一用于读取反射回该第一RF电源的反射RF功率的第一共同感应器，该共同感应器经耦接至该第一RF电源及该第一匹配网络。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料股份有限公司，未经应用材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980117820.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种检测有害重金属元素在细胞内分布的方法
- 下一篇：一种矿浆多路转换器
