[发明专利]用于激光剥离的同位监控无效
| 申请号： | 200980118344.X | 申请日： | 2009-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN102027352A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | A.P.马内斯;W-Y.许 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25;G01N21/27;B23K26/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆勍 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在利用一连串部分重迭的剥离点(300、1106)来形成划线的系统中，经由撷取剥离各点时产生的光强度(706、708、710)，可侦测不连续性(502、552)。当光强度(708)小于预定临界值的情况下，会使产生的剥离点不足以重迭到任何相邻点，此时可撷取此点的位置，并尝试再次于此位置处执行剥离。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 激光 剥离 同位 监控 | ||
【主权项】：
一种用于在工件上划线的系统，该系统包含：一激光，用以将一连串激光脉冲导向一工件的一材料层上数个部分重迭的位置，每一个激光脉冲能引起该些位置的其中一位置处的该材料层剥离；以及一侦测器，用以侦测该剥离期间产生的一光强度，该光强度指示各个位置的剥离量。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料股份有限公司，未经应用材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980118344.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：照相机系统
- 下一篇：一种钢结构焊缝根部点状、竖孔状缺陷当量孔径的计算方法
