[发明专利]半导体结构无效
申请号: | 200980118433.4 | 申请日: | 2009-05-18 |
公开(公告)号: | CN102047424A | 公开(公告)日: | 2011-05-04 |
发明(设计)人: | B-Y·阮;C·马聚尔 | 申请(专利权)人: | S.O.I.TEC绝缘体上硅技术公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/70 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;靳强 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | 在优选实施例中,本发明提供了半导体结构,其具有半导体支撑件、置于支撑件的一部分之上的绝缘层,以及置于该绝缘层之上的半导体表面层。电子器件可以形成在该表面层之中,也可以形成于该衬底的未被该绝缘层覆盖的半导体体区域的暴露部分中。本发明还提供了制造这种半导体结构的方法,首先从衬底开始,该衬底包括置于连续绝缘层之上的半导体表面层,该绝缘层和表面层均置于半导体支撑件之上,通过转换衬底的至少一个选定区域来形成该衬底的暴露的半导体体区域。 | ||
搜索关键词: | 半导体 结构 | ||
【主权项】:
一种制造半导体器件的方法,包括:提供衬底,该衬底包含半导体体支撑件、置于该支撑件之上的连续绝缘层,以及置于该绝缘层之上的半导体表面层;转换该表面层和该绝缘层,以便暴露该半导体体支撑件的选定区域;以及在该支撑件的暴露区域中或该支撑件的暴露区域上或者在该表面层中或该表面层上同步形成电子器件。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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