[发明专利]感光性树脂组合物

摘要

本发明提供了具有正型光刻性能的新型感光性树脂组合物、使用该组合物的固化浮雕图案的制造方法以及具有该固化浮雕图案的半导体装置，所述感光性树脂组合物的保存稳定性优异，高感光度且曝光后的感光度的经时稳定性优异。本发明的感光性树脂组合物，其特征在于，包含：100质量份(A)含有下述通式(1){式中，X¹、X²、Y¹、Y²、l、m如权利要求所定义。}所示结构的羟基聚酰胺；0.01～30质量份(B)下述通式(2){式中，k、X、R¹、R²、n、p、q如权利要求中所定义。}所示的含烷氧基烷基的化合物；以及1～100质量份(C)重氮醌化合物。

主权项

1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，包含：100质量份(A)含有下述通式(1)所示结构的羟基聚酰胺，[化学式1]式(1)中，X¹是具有碳原子的4价有机基团，X²、Y¹和Y²各自独立地是具有2个以上碳原子的2价有机基团，l是2～1000的整数，m是0～500的整数，l/(l+m)＞0.5，而且含有X¹和Y¹的l个二羟基二酰胺单元以及含有X²和Y²的m个二酰胺单元的排列顺序是任意的；0.01～30质量份(B)下述通式(2)所示的含烷氧基烷基的化合物，[化学式2]式(2)中，k是1～4的整数，(i)k＝1时，X是C_nH_2nOR¹或R²，R¹是选自由甲基、乙基、正丙基和异丙基组成的组中的1价有机基团，R²是选自由氢原子、碳原子数1～4的烷基、碳原子数2～10的酯基、碳原子数2～10的氨基甲酸酯基和碳原子数1～10的烷氧基组成的组中的1价有机基团，n是1～3的整数，p是1～5的整数，q是0～4的整数，而且(p+q)＝5，(ii)k＝2～4时，X是单键或2～4价有机基团，R¹是选自由甲基、乙基、正丙基和异丙基组成的组中的1价有机基团，R²是选自由氢原子、碳原子数1～4的烷基、碳原子数2～10的酯基和碳原子数2～10的氨基甲酸酯基组成的组中的1价有机基团，n是1～3的整数，p是1～5的整数，q是0～4的整数，而且(p+q)＝5，其中，在C_nH_2nOR¹和R²存在多个的情况下，n、p、q、R¹和R²彼此可以相同也可以不同；以及1～100质量份(C)重氮醌化合物。