[发明专利]用于电子柱的多极透镜无效
| 申请号： | 200980119732.X | 申请日： | 2009-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN102047375A | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | 金浩燮;吴泰植 | 申请（专利权）人： | 电子线技术院株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 江娟;南毅宁 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于微柱的电子透镜，并且更为具体地涉及一种多极电子透镜，其中所述电子透镜包括两个或更多个电极层，每一电子层具有从电子束沿其通过的中心光轴延伸的狭缝，且所述两个电极层在电子光轴上对准，以使得所述狭缝相互错开。进一步，本发明涉及使用所述多极透镜的微柱。根据本发明的多极透镜可以以简化方式被制造和控制，减小了微柱的散焦，并增大的有效偏转区域。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电子 多极 透镜 | ||
【主权项】：
一种多极电子透镜，该多极电子透镜包括：两个或更多个电极层，其中，每一所述电极层具有跨过中心光轴延伸的狭缝，电子束沿所述中心光轴通过，并且所述电极层沿着电子光轴排列，以使得所述狭缝位于不同方向。
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