[发明专利]多层反射镜和光刻设备

摘要

一种多层反射镜被构造且被布置以反射具有在2-8nm范围内的波长的辐射。所述多层反射镜具有从由Cr和Sc层，Cr和C层，C和B4C层，U和B4C层，Th和B4C层，C和B9C层，La和B9C层，U和B9C层，Th和B9C层，La和B层，C和B层，U和B层，以及Th和B层构成的组中选出的交替层。

主权项

一种多层反射镜，所述多层反射镜被构造且被布置以反射具有在2‑8nm范围内的波长的辐射，所述多层反射镜具有交替层，所述交替层包括第一层和第二层，所述第一层和第二层是从由Cr和Sc层，Cr和C层，C和B4C层，U和B4C层，Th和B4C层，C和B9C层，La和B9C层，U和B9C层，Th和B9C层，La和B层，C和B层，U和B层，Th和B层，La化合物和B4C层，U化合物和B4C层，Th化合物和B4C层，La化合物和B9C层，U化合物和B9C层，Th化合物和B9C层，La化合物和B层，U化合物和B层，以及Th化合物和B层构成的组中选择的。