[发明专利]用于控制匹配网络的装置、系统和方法有效
| 申请号： | 200980120990.X | 申请日： | 2009-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN102057759A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | T·卡尔利切克;G·J·范齐尔;L·桑福德 | 申请（专利权）人： | 先进能源工业公司 |
| 主分类号： | H05H1/36 | 分类号： | H05H1/36;H05H1/46;H05H1/24 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;夏青 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明描述一种能够使等离子体负载的阻抗与功率发生器匹配的装置、系统和方法。在一些实施例中，所述装置包括功率输出端，适于施加用于激励等离子体的功率；传感器，适于对在所述功率输出端处施加的功率进行采样以获得功率样本；以及阻抗控制输出端，被配置成对所述功率样本做出响应而提供阻抗控制信号，所述阻抗控制信号使得连接到所述功率发生器的输出端并且连接到所述阻抗控制输出端的阻抗匹配网络，能够对所述阻抗控制信号做出响应而将所述等离子体的阻抗匹配到所述功率发生器的操作阻抗。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 匹配 网络 装置 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于等离子体处理的功率发生器，包括：功率输出端，适于施加用于激励等离子体的功率；传感器，适于对在所述功率输出端处施加的功率进行采样以获得功率样本；以及阻抗控制输出端，被配置成对所述功率样本做出响应而提供阻抗控制信号，所述阻抗控制信号使得连接到所述功率发生器的输出端并且连接到所述阻抗控制输出端的阻抗匹配网络，能够对所述阻抗控制信号做出响应而将所述等离子体的阻抗匹配到所述功率发生器的操作阻抗。
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