[发明专利]纳米压印用模具、其制造方法及表面具有微细凹凸结构的树脂成形体以及线栅型偏振器的制造方法有效
| 申请号： | 200980121189.7 | 申请日： | 2009-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN102046357A | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | 海田由里子;坂本宽;见矢木崇平;高山公介;志堂寺荣治 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | B29C59/02 | 分类号： | B29C59/02;B29C33/40;B29C33/42;H01L21/027;B29L11/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 刘多益;胡烨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供能以良好的精度转印微细凹凸结构、价格低廉且耐久性好的纳米压印用模具、其制造方法及以良好的精度转印有模具的微细凹凸结构的表面具有微细凹凸结构的树脂成形体以及能以良好的生产性制造线栅型偏振器的方法。本发明使用一种纳米压印用模具(10)，该纳米压印用模具(10)的模具面具有由相互平行且以一定的间距形成的多条沟(14)构成的微细凹凸结构，其包括：树脂制的模胚(12)，该模胚(12)是所述微细凹凸结构的胚，其表面具有微细凹凸结构；金属氧化物层(16)，该金属氧化物层(16)被覆模胚(12)的具有微细凹凸结构的表面；脱模层(18)，该脱模层(18)被覆金属氧化物层(16)的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 压印 模具 制造 方法 表面 具有 微细 凹凸 结构 树脂 成形 以及 线栅型 偏振 | ||
【主权项】：
一种纳米压印用模具，该模具的模具面具有微细凹凸结构，其特征在于，包括：树脂制的模胚，该模胚是所述微细凹凸结构的胚，其表面具有微细凹凸结构；金属氧化物层，该金属氧化物层被覆所述模胚的具有微细凹凸结构的表面；脱模层，该脱模层被覆所述金属氧化物层的表面。
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