[发明专利]触摸面板的制造方法和成膜装置有效
| 申请号： | 200980122546.1 | 申请日： | 2009-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN102066601A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 高桥明久;石桥晓 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34;G06F3/041;H01B5/14 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 陈万青;王珍仙 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 该触摸面板的制造方法为包括具有形成透明导电膜(13)的主面(11a)的透明基板(11)的触摸面板(1)的制造方法，通过在含有选自氢气、氧气和水蒸气中的两种或三种的反应性气体气氛中使用由氧化锌类材料形成的靶(27)进行溅射法，在所述透明基板(11)的所述主面(11a)上形成所述透明导电膜(13)。 | ||
| 搜索关键词： | 触摸 面板 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种触摸面板的制造方法，为包括具有形成有透明导电膜的主面的透明基板的触摸面板的制造方法，其特征在于，通过在含有选自氢气、氧气和水蒸气中的两种或三种的反应性气体气氛中使用由氧化锌类材料形成的靶进行溅射法，在所述透明基板的所述主面上形成所述透明导电膜。
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