[发明专利]可动结构体及使用它的光扫描反射镜无效
申请号: | 200980123728.0 | 申请日: | 2009-06-25 |
公开(公告)号: | CN102067433A | 公开(公告)日: | 2011-05-18 |
发明(设计)人: | 橘宏明;野毛宏;河野清彦;上田英喜 | 申请(专利权)人: | 松下电工株式会社 |
主分类号: | H02N1/00 | 分类号: | H02N1/00;B81B3/00;G02B26/08;G02B26/10 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王轶;舒艳君 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种半导体机械结构体,即使从外部施加冲击,合叶也不会破损,提高了耐冲击性。光扫描反射镜1具备:可动板2、分别将一端部与可动板2的两个侧部连接而构成可动板2的1个摆动轴的一对合叶3、以包围可动板2的周围的方式配置并支承各合叶3的另一端部的固定框架4、形成于固定框架4中的挡块部6。当可动板2向侧方发生位移时,挡块部6即与可动板2的凹部2e的侧缘部接触,限制可动板2向侧方的位移。这样,即使从外部施加冲击,也可以防止合叶3的破损。 | ||
搜索关键词: | 结构 使用 扫描 反射 | ||
【主权项】:
一种可动结构体,具备:可动板、分别将一端部与所述可动板连接而构成所述可动板的1个摆动轴的一对合叶、被配置于所述可动板的周围并连接所述一对合叶的各自的另一端部而支承所述合叶的框架部,所述可动板被构成为,能在扭转所述一对合叶的同时相对于所述框架部摆动,其特征在于,还具备挡块部,所述挡块部在所述可动板发生位移时,则与可动结构体的一部分接触,限制所述可动板的位移。
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