[发明专利]在蚀刻制程中利用红外线传输的衬底温度测量无效
申请号: | 200980123845.7 | 申请日: | 2009-06-15 |
公开(公告)号: | CN102066888A | 公开(公告)日: | 2011-05-18 |
发明(设计)人: | 马修·芬顿·戴维斯 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | G01J5/08 | 分类号: | G01J5/08;G01K1/00;H01L21/66 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 王安武 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明提出一种用以在制程期间测量温度的方法与设备。在实施例中,本发明提供一种用以在蚀刻制程期间测量衬底温度的设备,该设备包含:腔室主体;腔室盖,其封闭该腔室主体;以及衬底支撑组件。多个窗口形成在该衬底支撑组件的衬底支撑表面中。信号产生器经由该衬底支撑组件光学地耦接到这些窗口。传感器设置在该衬底支撑组件上方,并对齐以接收来自该信号产生器而穿透至少一个窗口的能量,其中该传感器被配置以检测可表明穿透率的度量。 | ||
搜索关键词: | 蚀刻 制程中 利用 红外线 传输 衬底 温度 测量 | ||
【主权项】:
一种用以在蚀刻制程期间测量衬底温度的设备,包括:腔室主体,其具有腔室盖以封闭该腔室主体;衬底支撑组件,其设置在该腔室主体中,并具有衬底支撑表面;多个窗口,其形成在该衬底支撑表面中;信号产生器,其经由该衬底支撑组件光学地耦接到这些窗口;以及传感器,其设置在该衬底支撑组件上方,并对齐以接收来自该信号产生器而穿透至少一个窗口插塞的能量,其中该传感器被配置以检测可表明穿透率的度量。
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