[发明专利]在蚀刻制程中利用红外线传输的衬底温度测量无效
| 申请号： | 200980123845.7 | 申请日： | 2009-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN102066888A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 马修·芬顿·戴维斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01J5/08 | 分类号： | G01J5/08;G01K1/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 王安武 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提出一种用以在制程期间测量温度的方法与设备。在实施例中，本发明提供一种用以在蚀刻制程期间测量衬底温度的设备，该设备包含：腔室主体；腔室盖，其封闭该腔室主体；以及衬底支撑组件。多个窗口形成在该衬底支撑组件的衬底支撑表面中。信号产生器经由该衬底支撑组件光学地耦接到这些窗口。传感器设置在该衬底支撑组件上方，并对齐以接收来自该信号产生器而穿透至少一个窗口的能量，其中该传感器被配置以检测可表明穿透率的度量。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 制程中 利用 红外线 传输 衬底 温度 测量 | ||
【主权项】：
一种用以在蚀刻制程期间测量衬底温度的设备，包括：腔室主体，其具有腔室盖以封闭该腔室主体；衬底支撑组件，其设置在该腔室主体中，并具有衬底支撑表面；多个窗口，其形成在该衬底支撑表面中；信号产生器，其经由该衬底支撑组件光学地耦接到这些窗口；以及传感器，其设置在该衬底支撑组件上方，并对齐以接收来自该信号产生器而穿透至少一个窗口插塞的能量，其中该传感器被配置以检测可表明穿透率的度量。
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