[发明专利]在化学气相沉积反应器中用于管丝的夹头及电桥的连接点

摘要

一种化学气相沉积反应器系统，包含一个或多个连接至电桥的管丝，每个管丝还连接至夹头。“夹头到丝”的连接可包含形成在管丝的一端上的晶种，而该晶种则是连接到该夹头的突出部，或是该丝可直接形成在夹头上。“电桥到丝”的连接则是将平坦状的横式电桥或矩形电桥连接至该丝内相对应的开口。利用这种连接可在反应器系统的操作期间保持电性连接、并借此达到管丝的电阻加热。

主权项

一种化学气相沉积反应器系统，包括：至少一个具有第一端与第二端的管丝，所述管丝组构成用以承载电流；晶种，贴附至所述管丝的所述第一端；以及至少连接至所述晶种的夹头，所述夹头形成有突出部，且所述突出部对应于所述晶种的凹槽，以使所述夹头电性连接至所述管丝。