[发明专利]元件阵列、机电转换装置及其制造方法有效
| 申请号： | 200980124101.7 | 申请日： | 2009-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN102076428A | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 江崎隆博;张建六;添田康宏;玉森研尔 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | B06B1/02 | 分类号： | B06B1/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 杨国权 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种元件阵列，包括多个具有第一电极和第二电极的元件，在第一电极和第二电极之间具有空隙；通过凹槽对于每个元件分离第一电极，绝缘的连接衬底与第一电极接合，以及从对于每个元件分离的各个第一电极中的每一个第一电极穿过连接衬底到与第一电极相对的一侧地形成布线。 | ||
| 搜索关键词： | 元件 阵列 机电 转换 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种元件阵列，包括多个具有第一电极和第二电极的元件，在第一电极和第二电极之间具有空隙；通过凹槽对于每个元件分离第一电极，绝缘的连接衬底与第一电极接合，以及从对于每个元件分离的各个第一电极中的每一个第一电极穿过所述连接衬底到与第一电极相对的一侧地形成布线。
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