[发明专利]处理系统和用于操作处理系统的方法

摘要

本发明提供了处理系统和用于操作处理系统的方法。涂布系统1包括摆动台2和室排列，其中摆动台2包括摆动模块。室排列包括锁定室3和第一涂布室4。锁定室3被构造为组合的锁入/锁出室。室排列具有由虚线表示的第一大致直线的传输路径T1和由虚线表示的第二大致直线的传输路径T2。路径T1和T2的排列建立了双轨道。系统包括用于使得衬底如箭头所示沿着第一传输路径T1和/或第二传输路径T2移动通过室3、4的排列的传输系统。室3和4中的一个或者特别是两个包括用于通过双导轨或三导轨部分的横向运动而将衬底/承载器从第一路径T1转移到第二路径T2和/或从第二路径T2转移到第一路径T1的转移装置。

主权项

一种用于处理衬底的处理系统(1)，包括：室排列，所述室排列包括至少用于涂布所述衬底的第一处理室(4，30)、用于涂布所述衬底的第二处理室(7，40)和/或转移室(6)；以及至少锁定室(3，20)，其构造为将所述衬底锁定在所述室排列中和/或将所述衬底锁定在所述室排列之外；第一传输路径(T1)，其用于将所述衬底传输通过所述室排列；以及第二传输路径(T2)，其用于将所述衬底传输通过所述室排列，其中所述第二传输路径(T2)相对于所述第一传输路径(T1)横向偏移，所述系统的特征在于，所述第一处理室(4，30)包括用于将所述衬底从所述第一传输路径(T1)转移到所述第二传输路径(T2)和/或从所述第二传输路径(T2)转移到所述第一传输路径(T1)的装置，并且所述用于将所述衬底从所述第一传输路径(T1)转移到所述第二传输路径(T2)和/或从所述第二传输路径(T2)转移到所述第一传输路径(T1)的装置包括至少第一引导部分和第二引导部分的组合，其中，所述第一引导部分与所述第二引导部分平行地设置，并且其中，通过由转移系统所导致的所述第一引导部分与所述第二引导部分的横向移动，所述衬底能够被从所述第一传输路径被传输到所述第二传输路径和从所述第二传输路径传输到所述第一传输路径，所述转移系统设置在所述第一传输路径和所述第二传输路径的同所述处理腔室中的涂布工具相反的一侧上。