[发明专利]具有两个旋转轴上的独立旋转的微机电系统器件无效
| 申请号： | 200980125564.5 | 申请日： | 2009-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN102076601A | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 巴里埃·基沃思;凯文·科内尔森;贾里德·克劳福德 | 申请（专利权）人： | 米克拉利内有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B3/00;B81B5/00;G02B26/08;H01L23/52 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王萍;李春晖 |
| 地址： | 加拿大*** | 国省代码： | 加拿大;CA |
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| 摘要： | 提供一种MEMS配置，其具有包含诸如反射镜的可旋转元件的顶部平面。存在中间支撑框架平面和下电气基板平面。可旋转元件由在中间支撑框架平面中形成的支撑框架支撑，以便于在第一旋转轴上相对于框架可旋转。框架被安装成相对于第二旋转轴可旋转。第一旋转轴上的旋转基本上独立于第二旋转轴上的旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 两个 旋转轴 独立 旋转 微机 系统 器件 | ||
【主权项】：
一种微机电系统MEMS配置，包括：顶部平面，包括可旋转元件；中间支撑框架平面；下电气基板平面；其中，所述可旋转元件由在所述中间支撑框架平面中形成的支撑框架支撑，以便于在第一旋转轴上相对于所述框架可旋转；其中，所述框架被安装成相对于第二旋转轴可旋转；其中，所述第一旋转轴上的旋转基本上独立于所述第二旋转轴上的旋转。
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