[发明专利]整修多部件电极的方法有效
| 申请号： | 200980125834.2 | 申请日： | 2009-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN102077696A | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 阿芒·阿沃扬;方言;杜安·奥特卡;石洪;斯特芬·惠藤 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 周文强;李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种整修多部件电极的方法，所述多部件电极包含连接在导电垫板上的硅电极。所述方法包括：(i)去除多部件电极上的金属离子，所用方法为将多部件电极在基本上无醇的并且包含硫酸、过氧化氢和水的磷酸氢二钠(DSP)溶液中浸泡，接着用去离子水清洗所述多部件电极；(ii)去除所述多部件电极上的金属离子后，将所述多部件电极抛光；并且(iii)去除所述多部件电极硅表面的杂质，所用方法为用包含氢氟酸、硝酸、醋酸和水的混合酸溶液处理所述已抛光的多部件电极，接着用去离子水清洗所述经处理的多部件电极。范围更宽和更窄的其它实施方式是可以预料的。 | ||
| 搜索关键词： | 整修 部件 电极 方法 | ||
【主权项】：
一种整修多部件电极的方法，所述多部件电极包含连接在导电垫板上的硅电极，所述方法包括：去除所述多部件电极上的金属离子，所用方法为将所述多部件电极在基本上无醇的并且包含硫酸、过氧化氢和水的磷酸氢二钠(DSP)溶液中浸泡，接着用去离子水清洗所述多部件电极；去除所述多部件电极上的金属离子后，将所述多部件电极的一个或者一个以上的表面抛光；接着去除所述多部件电极硅表面的杂质，所用方法为用包含氢氟酸、硝酸、醋酸和水的混合酸溶液处理所述经抛光的多部件电极，然后用去离子水清洗所述经处理的多部件电极。
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