[发明专利]制造AlxGa(1-x)N单晶的方法、AlxGa(1-x)N单晶和光学透镜无效

专利信息
申请号: 200980125962.7 申请日: 2009-06-25
公开(公告)号: CN102084040A 公开(公告)日: 2011-06-01
发明(设计)人: 荒川聪;樱田隆;山本喜之;佐藤一成;谷崎圭祐;中幡英章;水原奈保;宫永伦正 申请(专利权)人: 住友电气工业株式会社
主分类号: C30B29/38 分类号: C30B29/38;C30B23/06;G02B1/02;G02B3/00
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 陈海涛;樊卫民
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种通过以升华法生长AlxGa(1-x)N单晶(10)来制造AlxGa(1-x)N单晶(10)(其中0<x≤1)的方法,所述方法包括准备衬底的步骤、准备高纯度原料的步骤和升华原料以在所述衬底上生长所述AlxGa(1-x)N单晶(10)的步骤。所述AlxGa(1-x)N单晶(10)对波长为250至300nm的光显示2.4以上的折射率,并且对波长超过300nm并且短于350nm的光显示2.3以上的折射率,每个折射率都是在300K下测定的。
搜索关键词: 制造 al sub ga 方法 光学 透镜
【主权项】:
一种制造AlxGa(1‑x)N单晶(10)的方法,所述AlxGa(1‑x)N(0<x≤1)单晶(10,12)是通过升华法生长的,所述方法包括下述步骤:准备底部衬底(11),准备高纯度原料(17),以及通过升华所述原料(17)而在所述底部衬底(11)上生长所述AlxGa(1‑x)N单晶(10,12)。
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