[发明专利]Ⅲ族氮化物模板和与之相关的异质结构、器件及它们的制造方法无效
| 申请号： | 200980126174.X | 申请日： | 2009-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN102083743A | 公开（公告）日： | 2011-06-01 |
| 发明（设计）人： | T·帕斯科瓦;E·A·普雷布尔;T·L·克利特斯;A·D·汉瑟;K·R·埃文斯 | 申请（专利权）人： | KYMA技术有限公司 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B82B1/00 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 美国北卡*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种模板化衬底，包括基层和设置在该基层上的模板层，该模板层的成分包括单晶III族氮化物。模板层包括在基层上的连续子层和在第一子层上的纳米柱子层，其中纳米柱子层包括多个纳米尺度的柱。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化物 模板 与之 相关 结构 器件 它们 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种模板化衬底，包括：基层；和设置在该基层上的模板层，该模板层的成分包括单晶III族氮化物，模板层包括在基层上的连续子层和在第一子层上的纳米柱子层，其中纳米柱子层包括多个纳米尺度的柱。
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