[发明专利]包括耐蚀材料的极端紫外辐射产生设备有效
| 申请号： | 200980126231.4 | 申请日： | 2009-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN102106190A | 公开（公告）日： | 2011-06-22 |
| 发明（设计）人： | C·梅茨马歇尔;A·韦伯 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司;爱克斯特里姆科技有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李亚非;刘鹏 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种改进的EUV产生设备，该EUV产生设备具有用于液态锡的经涂覆的供应管，从而提供一种极端紫外辐射产生设备，该极端紫外辐射产生设备能够向等离子体产生部分提供较少受污染的锡流和来自等离子体产生部分的较少受污染的锡流。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 材料 极端 紫外 辐射 产生 设备 | ||
【主权项】：
极端紫外辐射产生设备，该极端紫外辐射产生设备包括：等离子体产生设备；至少一个锡供应系统，其具有与所述等离子体产生设备流体连通的供应贮存器，该至少一个锡供应系统适合于向所述等离子体产生设备供应液态锡，其中所述锡供应系统包括用于供应锡的至少一个供应装置，其中所述供应装置至少部分地涂覆有至少一种共价无机固体材料。
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