[发明专利]薄膜太阳能电池及其制造方法有效
| 申请号： | 200980126260.0 | 申请日： | 2009-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN102089884A | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 山林弘也;时冈秀忠;山向干雄 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | H01L31/04 | 分类号： | H01L31/04 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 金春实 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明能够得到一种薄膜太阳能电池，通过在透明绝缘基板(1)上形成在基板面内相互分离的多个第一透明导电膜(2)，在第一透明导电膜(2)上形成第二透明导电膜，将第二透明导电膜蚀刻为粒状来形成分散在第一透明导电膜(2)上的第一粒状体(4b)，在第一透明导电膜(2)上以及分散的第一粒状体(4b)上形成发电层(5)，在发电层(5)上形成背面电极层(6)，从而实现具有表面粗糙度小的微细表面凹凸并且面内的电阻大致均匀的透明电极。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 太阳能电池 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，包括：第一透明导电膜形成工序，在透明绝缘基板上形成在基板面内相互分离的多个第一透明导电膜；第二透明导电膜形成工序，在所述第一透明导电膜上形成第二透明导电膜；蚀刻工序，将所述第二透明导电膜蚀刻为粒状来形成分散在所述第一透明导电膜上的第一粒状体；发电层形成工序，在所述第一透明导电膜上以及所述分散的第一粒状体上形成发电层；以及背面电极层形成工序，在所述发电层上形成背面电极层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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