[发明专利]正型抗蚀剂组合物以及微透镜的制造方法

摘要

本发明的课题是提供透明性、耐热性和折射率优异的、特别适合用于形成微透镜和形成平坦化膜的正型抗蚀剂组合物，以及由该正型抗蚀剂组合物形成的微透镜和平坦化膜。作为本发明的解决课题的方法是，一种正型抗蚀剂组合物，其包含下述成分(A)、成分(B)和成分(C)：成分(A)：包含具有联苯结构的结构单元的碱溶性聚合物；成分(B)：具有光分解而产生碱溶性基团的有机基团的化合物；成分(C)：溶剂。还可以是，上述正型抗蚀剂组合物，其中，成分(A)的碱溶性聚合物是包含式(1)所示结构单元的聚合物，且当将构成聚合物(A)的结构单元的总数设为1.0时，构成聚合物(A)的式(1)所示结构单元的比例n1满足0.3≤n1≤1.0。

主权项

一种正型抗蚀剂组合物，其包含下述成分(A)、成分(B)和成分(C)：成分(A)：包含具有联苯结构的结构单元的碱溶性聚合物；成分(B)：具有能够进行光分解、并在光分解时产生碱溶性基团的有机基团的化合物；成分(C)：溶剂。