[发明专利]激光加工装置及激光加工方法无效
| 申请号： | 200980127102.7 | 申请日： | 2009-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN102089115A | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 清水政二 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/40 | 分类号： | B23K26/40;B23K26/38;B23K26/42;B28D5/00;C03B33/09;H01L21/301 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供无金属粉产生的问题或在冷却构件附着的污垢附着于基板的问题，且摩擦导致的伤痕的发生亦不会产生的使用固体接触冷却方法的激光加工装置及激光加工方法。具备在脆性材料基板形成光束点的激光照射机构、形成冷却区域的基板冷却机构、沿在前述基板设定的加工预定线以光束点后冷却区域的顺序相对移动前述光束点及前述冷却区域的扫描机构，前述基板冷却机构是由将常温下为气体或液体的冷媒材料冷却而固体化的固相冷媒、使前述固相冷媒接触前述基板的按压机构构成。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种脆性材料基板用的激光加工装置，具备在脆性材料基板形成借由照射激光束进行局部加热的光束点的激光照射机构、形成局部冷却前述基板的冷却区域的基板冷却机构、以及沿在前述基板设定的加工预定线以光束点后冷却区域的顺序相对移动前述光束点及前述冷却区域的扫描机构，借由冷却区域通过光束点刚通过的位置而沿前述加工预定线形成由热应力产生的裂痕，其特征在：前述基板冷却机构是由将常温下为气体或液体的冷媒材料冷却而固体化的固相冷媒、以及使前述固相冷媒接触前述基板的按压机构构成。
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