[发明专利]具有终点窗口的抛光垫以及使用其的系统和方法无效
| 申请号： | 200980127263.6 | 申请日： | 2009-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN102089122A | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 拉杰夫·巴贾;斯特芬·M·费希尔;威廉·D·约瑟夫 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司;塞米奎斯特股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24D13/14;H01L21/304;B24B49/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张成新 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种抛光垫，其包括穿过其中的通路，用于发射信号而现场监视抛光操作中的终点。在一个实施例中，抛光垫包括位于导向板第一侧上的抛光合成物分布层以及位于导向板相对第二侧上的支撑层。导向板保持多个抛光元件，该多个抛光元件沿着基本上垂直于包括抛光垫的平面的第一方向延伸，并且穿过抛光合成物分布层。抛光垫包括沿着第一方向和通过垫的厚度的光路。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 终点 窗口 抛光 以及 使用 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种抛光垫，包括位于导向板的第一侧上的抛光合成物分布层以及位于导向板的相对第二侧上的支撑层，其中导向板保持多个抛光元件，该多个抛光元件沿着基本上垂直于包括抛光垫的平面的第一方向延伸，并且穿过抛光合成物分布层，其中抛光垫包括光路，其沿着该第一方向并且穿过垫的厚度，用于传输信号而现场监视抛光操作中的终点。
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