[发明专利]静电电容式振动传感器有效
| 申请号： | 200980127821.9 | 申请日： | 2009-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN102100086A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 笠井隆;鹤龟宜崇 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种静电电容式振动传感器，在具有空洞部(37)的硅基板(32)的上面设有接受振动而进行膜振动的振动电极板(34)。另外，在振动电极板(34)的上方设有固定电极板(36)，该固定电极板(36)开设有沿厚度方向贯通的多个声音孔(43)，且使振动电极板(34)与固定电极板(36)相对。在空洞部(37)的周围，在硅基板(32)的上表面与振动电极板(34)的下表面之间设有使振动电极板(34)及固定电极板(36)之间的气隙(35)和所述空洞部(37)连通的通风孔(45)。在与通风孔(45)相对应的区域，在振动电极板(34)上开设有多个形成贯通孔状的排气部(42)。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 电容 振动 传感器 | ||
【主权项】：
一种静电电容式振动传感器，其具备：基板，其具有空洞部；振动电极板，其在所述基板的上面侧与所述空洞部相对配置，接受振动而进行膜振动；固定电极板，其与所述振动电极板相对配置，并开设有沿厚度方向贯通的多个声音孔，其特征在于，在所述空洞部的周围的至少一部分，在所述基板的上表面与所述振动电极板的下表面之间具有使所述振动电极板及所述固定电极板间的空间与所述空洞部连通的空气路径部，在所述振动电极板或所述基板的面向所述空气路径部的部位形成有排气部，该排气部用于使该空气路径部的空气向所述振动电极板的厚度方向排出。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于欧姆龙株式会社，未经欧姆龙株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980127821.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：带鳍板锥形铸造壳体的机械加工工装
- 下一篇：带丝杆的装夹工装
