[发明专利]用于缺陷检查的图像数据的处理装置及方法、使用它们的缺陷检查装置及方法、使用它们的板状体的制造方法、以及存储介质

摘要

使用信号阈值从板状体的拍摄图像中提取缺陷候补。从提取出的多个缺陷候补中搜索宽度方向的位置相同的缺陷候补，求取搜索出的缺陷候补的输送方向的位置和相邻的缺陷候补的输送方向的位置之间的间隔，反复进行上述处理，由此求出对于间隔的产生频率分布。在关注间隔的产生频率超过频率阈值时，判断为板状体在输送方向上具有周期性缺陷。此时，以关注间隔越短则频率阈值大致越大的方式设定频率阈值。

主权项

一种处理装置，所述处理装置为用于缺陷检查的图像数据的处理装置，所述缺陷检查是使用在使板状体在规定方向上进行相对移动的同时对该板状体进行拍摄而获得的图像来检查存在于所述板状体的缺陷，其特征在于，具有处理部，所述处理部使用第一信号阈值从所述图像中提取多个缺陷候补，并从提取出的多个缺陷候补中沿所述规定方向即移动方向搜索与所述移动方向正交的宽度方向的位置相同的缺陷候补，求出通过搜索检测出的缺陷候补在所述板状体的移动方向上的位置和与所述检测出的缺陷候补在移动方向上相邻的缺陷候补在移动方向上的位置之间的间隔，反复进行上述处理，由此取得多个间隔，求出该多个间隔的产生频率，在关注间隔的产生频率超过设定的频率阈值时，判断为所述板状体在所述移动方向上具有周期性缺陷，在所述处理部使用的所述频率阈值根据所述关注间隔确定，在两个频率阈值确定为不同的值时，以使用于确定较大的频率阈值的所述关注间隔为比用于确定较小的频率阈值的所述关注间隔小的值的方式设定所述频率阈值。