[发明专利]金属纳米油墨及其制造方法，使用该金属纳米油墨的焊接方法及焊接装置

摘要

在将由分散剂(102)涂布表面的金属纳米粒子(101)混合到有机溶剂(105)中前或混合后，将氧作为氧纳米气泡(125)或氧气泡(121)注入有机溶剂(105)中，通过加压烧结制造用于接合半导体芯片的电极和线路板的电极以及/或半导体芯片的电极和另一半导体芯片的电极的金属纳米油墨(100)。将该金属纳米油墨(100)的微液滴射出到电极上，在半导体芯片的的电极和线路板的电极上形成凸块，使得半导体芯片反转，对位叠合在线路板上后，对各电极间的凸块加压并加热，加压烧结凸块的金属纳米粒子。由此，抑制加压烧结时产生空隙。

主权项

一种金属纳米油墨，用于通过加压烧结使得半导体芯片的电极和线路板的电极以及/或半导体芯片的电极和另一半导体芯片的电极接合；其特征在于：使得由分散剂涂布表面的金属纳米粒子和氧混合在有机溶剂中，进行调整。