[发明专利]超声波清洗装置有效
| 申请号： | 200980130926.X | 申请日： | 2009-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN102119060A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 铃木一成;潘毅 | 申请（专利权）人： | 株式会社海上 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够容易地应对被清洗物的清洗面的大径化的超声波清洗装置。本发明所涉及的超声波清洗装置的特征在于，具备：对传送液(15)赋予超声波能量的超声波振动件(13)；使由所述超声波振动件赋予了超声波能量的传送液流动的超声波传送管(12)；配置在所述超声波传送管的下方的保持被清洗物(21)的保持机构；向由所述保持机构保持的被清洗物的清洗面供给清洗液的清洗液供给机构，其中，所述超声波传送管(12)配置成其侧面与通过由所述清洗液供给机构向所述清洗面供给清洗液而在该清洗面形成的该清洗液的液膜(19)接触。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种超声波清洗装置，其特征在于，具备：对传送液赋予超声波能量的超声波振动件；使由所述超声波振动件赋予了超声波能量的传送液流动的超声波传送管；配置在所述超声波传送管的下方的保持被清洗物的保持机构；向由所述保持机构保持的被清洗物的清洗面供给清洗液的清洗液供给机构，所述超声波传送管配置成其侧面与通过由所述清洗液供给机构向所述清洗面供给清洗液而在该清洗面形成的该清洗液的液膜接触。
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