[发明专利]控制设备的运动尤其是芯片键合设备的放置工具的运动的方法

摘要

提出了一种对设备的具有N≥2的自由度x1，...，xN-1，z的运动进行控制的方法。该方法包括步骤：确定近似目标x-位置xendapp＝(x1，endapp，...，xN-1，endapp)；计算第一z-轨迹zup(t)；计算设备从开始x-位置xstart到近似目标x-位置xendapp的运动的x-轨迹xapp(t)＝(x1app(t)，...，xN-1app(t))；通过控制系统使设备从起点qapp(0)＝(xstart，zup(0))沿着第一轨迹qapp(t)＝(xapp(t)，zup(t))开始运动；一旦在时刻tcorr获得被修正目标x-位置xend＝(x1，end，...，xN-1，end)，就确定满足xcorr(tblend)＝xapp(tblend)的到xend的被修正目标-x轨迹xcorr(t)＝(x1corr(t)，...，xN-1corr(t))，其中tcorr≤tblend以及对于t≥tblend，通过控制系统使设备沿着第二轨迹qcorr(t)＝(xcorr(t)，zup(t))运动；确定最早时刻t2：＝min{t|xcorr(t)＝xend}，此时xcorr(t2)＝xend；计算从最大z-位置zmax到目标z-位置zend的第二z-轨迹zdown(t)从而对于t＜t2，zdown(t)＞z2，对于给定安全高度z2，有zmax＞z2＞zend以及对于tdown＞tblend的某些时刻，zdown(tdown)＝zup(tdown)＝zmax；以及对于t＞tdown，通过控制系统使设备沿着第三轨迹qfinal(t)＝(xcorr(t)，zdown(t))运动。

主权项

一种对设备，尤其是芯片键合设备的放置工具，具有N≥2的自由度x1，...，xN‑1，z的运动进行控制的方法，所述方法包括以下步骤a.)确定近似目标x‑位置xendapp＝(x1，endapp，...，xN‑1，endapp)，b.)计算第一z‑轨迹zup(t)，c.)计算所述设备从开始x‑位置xstart到所述近似目标x‑位置xendapp的运动的近似x‑轨迹xapp(t)＝(x1app(t)，...，xN‑1app(t))，d.)通过控制系统使所述设备开始从起点qapp(0)＝(xstart，zup(0))沿着第一轨迹qapp(t)＝(xapp(t)，zup(t))运动，e.)一旦在时刻tcorr获得修正的目标x‑位置xend＝(x1，end，...，xN‑1，end)，则(i)确定满足xcorr(tblend)＝xapp(tblend)的到xend的修正的目标x‑轨迹xcorr(t)＝(x1corr(t)，...，xN‑1corr(t))，其中tcorr≤tblend以及(ii)对于t≥tblend，通过所述控制系统使所述设备沿着第二轨迹qcorr(t)＝(xcorr(t)，zup(t))运动，f.)确定使xcorr(t2)＝xend的最早时刻t2：＝min{t|xcorr(t)＝xend}，g.)计算从最大z‑位置zmax到目标z‑位置zend的第二z‑轨迹zdown(t)以使(i)对于t＜t2，对于给定的安全高度z2有zdown(t)＞z2，其中，zmax＞z2＞zend以及(ii)对于tdown＞tblend的某些时刻，zdown(tdown)＝zup(tdown)＝zmax，以及h.)对于t＞tdown，通过所述控制系统使所述设备沿着第三轨迹qfinal(t)＝(xcorr(t)，zdown(t))运动。