[发明专利]用于制造稀土金属-Ba2Cu3O7-δ薄膜的组合物和方法无效
| 申请号： | 200980134064.8 | 申请日： | 2009-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN102138232A | 公开（公告）日： | 2011-07-27 |
| 发明（设计）人： | 保罗·克莱门;辛西娅·埃德尼;唐纳德·欧维迈尔;杰弗里·道雷;迈克尔·贝克尔;迈克尔·西耶加尔 | 申请（专利权）人： | 齐纳基能量股份有限公司;三帝公司 |
| 主分类号： | H01L39/24 | 分类号： | H01L39/24;C23C18/12 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 丁香兰;庞东成 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了用于制备稀土金属-Ba2Cu3O7-膜的组合物和方法。所述组合物包含钡(Ba)金属-有机化合物、一种或多种稀土金属有机化合物和铜(Cu)金属-有机化合物。所述组合物还包含卤素。例如，所述组合物可以包含卤代有机溶剂。所述组合物还包含沸点高于约230℃的溶剂。前体溶液可以还包含不与卤代溶剂反应生成水的低粘度溶剂。也可以包含高粘度化合物以能够形成较厚的膜。所获得的前体溶液可以沉积在基板上，以高于50℃/分钟的加热速率热解，并且结晶，从而产生平整的薄膜(sheer film)。可以生产位于各种基板上的、传输Jc值在77°K为4×106A/cm2、膜厚大于100nm的膜。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 稀土金属 ba sub cu 薄膜 组合 方法 | ||
【主权项】：
一种组合物，所述组合物包含：钡金属‑有机化合物；一种或多种稀土金属‑有机化合物；铜金属‑有机化合物；在大气压下沸点高于230℃的高沸点溶剂；其中所述组合物还包含卤代有机溶剂，和/或其中一种或多种所述钡金属‑有机化合物、所述一种或多种稀土金属‑有机化合物和所述铜金属‑有机化合物包含卤素；其中所述高沸点溶剂与稀土金属在所述组合物中的摩尔比为1～10∶1；并且其中钡与稀土金属在所述组合物中的摩尔比小于2.1∶1，并且其中铜与钡在所述组合物中的摩尔比大于3∶2。
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