[发明专利]像差修正方法、使用其的激光加工方法、激光照射方法、像差修正装置和像差修正程序有效
| 申请号： | 200980134183.3 | 申请日： | 2009-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN102138097A | 公开（公告）日： | 2011-07-27 |
| 发明（设计）人： | 伊藤晴康;松本直也;井上卓 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01;B23K26/06;B23K26/073;H01S3/10 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及像差修正方法、使用其的激光加工方法、激光照射方法、像差修正装置和像差修正程序。本发明的一个实施方式所涉及的像差修正方法中，在将激光聚光于具有光透过性的介质(60)内部的激光照射装置(1)的像差修正方法中，以使激光的聚光点位于在所述介质内部所产生的像差范围之间的方式，修正激光的像差。若将介质(60)的折射率设为n，将自介质(60)的入射面至透镜(50)的焦点为止的深度设为d，将通过介质(60)而产生的像差设为Δs，则该像差范围为自介质(60)的入射面起n×d以上且n×d+Δs以下。 | ||
| 搜索关键词： | 修正 方法 使用 激光 加工 照射 装置 程序 | ||
【主权项】：
一种像差修正方法，其特征在于，是将激光聚光于具有光透过性的介质内部的激光照射装置的像差修正方法，在所述像差修正方法中，以所述激光的聚光点位于在所述介质内部所产生的像差范围之间的方式，修正所述激光的像差。
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