[发明专利]用于高速固化在低温衬底上的薄膜的方法和装置有效
| 申请号： | 200980134624.X | 申请日： | 2009-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN102216859A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | K·A·施罗德;K·M·马丁;D·K·杰克逊;S·C·麦克库 | 申请（专利权）人： | NCC纳诺责任有限公司 |
| 主分类号： | G03G19/00 | 分类号： | G03G19/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 杨晓光;于静 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了一种用于高速热加工在低温衬底上的薄膜的固化装置。所述固化装置包括频闪头、频闪控制模块和传送器控制模块。所述频闪控制模块控制由在所述频闪头上的闪光灯产生的脉冲组的功率、持续时间和重复速率。根据速度信息，所述传送器控制模块与所述频闪控制模块一起提供在所述脉冲组的所述重复速率与所述衬底在所述频闪头下方移动的速度之间的实时同步。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 高速 固化 低温 衬底 薄膜 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种固化装置，包括：频闪头，其具有闪光灯；频闪控制模块，其用于控制由所述闪光灯产生的多个脉冲的功率、持续时间和重复速率；以及传送器控制模块，其与所述频闪控制模块一起，用于实时同步所述多个脉冲的所述重复速率与所述衬底在所述频闪头下方移动的速度。
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