[发明专利]冷却改进的快速热处理灯头无效

专利信息
申请号: 200980135169.5 申请日: 2009-09-09
公开(公告)号: CN102150248A 公开(公告)日: 2011-08-10
发明(设计)人: 约瑟夫·M·拉内什;库赫斯特·索瑞伯基;凯达尔纳什·桑格姆;亚历山大·勒纳 申请(专利权)人: 应用材料股份有限公司
主分类号: H01L21/324 分类号: H01L21/324
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;王金宝
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 在此提供灯头和利用灯头的设备的实施例。一些实施例中,用于热处理的灯头可包括:整体件,其具有多个冷却剂通道和多个灯通道及多个反射腔,其中各个灯通道设以容纳灯,而各个反射腔经构形以作为反射器或用以接收灯的可替换式反射器,且其中所述多个冷却剂通道配置邻近所述多个灯通道;及至少一热传送件,自整体件延伸进入各个冷却剂通道。一些实施例中,灯头可配置在设备中,所述设备包括具有基材支撑件的处理腔室,其中灯头经配置以提供能量至基材支撑件。
搜索关键词: 冷却 改进 快速 热处理 灯头
【主权项】:
一种用于热处理中的灯头,其包括:整体件,具有多个冷却剂通道和多个灯通道及多个反射腔,其中各个灯通道设置以容纳灯,而各个反射腔经构形以作为反射器或用以接收所述灯的可替换式反射器,且其中所述多个冷却剂通道是配置邻近所述多个灯通道;及至少一热传送件,自所述整体件延伸进入各个冷却剂通道。
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