[发明专利]成像光学系统有效
| 申请号： | 200980135379.4 | 申请日： | 2009-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN102150068A | 公开（公告）日： | 2011-08-10 |
| 发明（设计）人： | 汉斯-于尔根·曼;阿明·舍帕克;约翰尼斯·泽尔纳 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B17/06 | 分类号： | G02B17/06;G02B5/10;G02B7/182;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种具有多个反射镜(M1至M6)的成像光学系统(31)，将物平面(5)中的物场(4)成像到像平面(9)中的像场(8)，根据以下任一个构造：a)连接轴(32)，所述连接轴(32)垂直于物平面(5)并延伸通过空间上最紧邻物场(4)的反射镜(M2)的几何中心点，最紧邻物场(4)的反射镜(M2)布置成与物场(4)相距间距(A)，间距(A)大于成像光学系统的(31)的入射光瞳面(30)离物场(4)的间距(B)，所述光瞳面(30)位于物场(4)上游的成像光(30)的光束路径中；b)具有入射光瞳面(30)，位于物场(4)上游的成像光(3)的光束路径中，其中成像光(3)在物平面(5)上被反射，具有连接轴(32)，其垂直于物平面(5)并延伸通过入射光瞳的几何中心点，其中连接轴(32)与入射光瞳面(30)的交叉点(C)比中心物场点的主光束(33)与连接轴(32)的第一交叉点(D)更靠近物平面(5)，所述第一交叉点(D)在物场(4)的下游的成像光(3)的光束路径中；其中反射镜(M5、M6)的至少一个具有通路开口(18、19)，以使成像光(3)通过；c)成像光学系统(7；31)具有与第一反射镜(M5)间隔开的另外的可变形反射镜(M3)，所述第一反射镜(M5)最紧邻两个场(4、8)中的一个并被指定为相邻反射镜，可变形反射镜(M3)被布置于与成像光学系统(7；31)中的相邻反射镜的布置平面光学共轭的平面中；d)反射镜(M5)的支撑体，由其弹性模量为其他反射镜(M1至M4、M6)的至少一个的支撑体(22)的材料的弹性模量的至少两倍大的材料制成，反射镜(M5)为最靠近两个场(4、8)中的一个的相邻反射镜。 | ||
| 搜索关键词： | 成像 光学系统 | ||
【主权项】：
具有多个反射镜(M1至M6)的成像光学系统(31)，其将物平面(5)中的物场(4)成像到像平面(9)中的像场(8)，其特征在于：在垂直于所述物平面(5)并延伸通过空间上最紧邻所述物场(4)的所述反射镜(M2)的几何中心点的连接轴(32)上，最紧邻所述物场(4)的所述反射镜(M2)布置成与所述物场(4)相距间距(A)，所述间距(A)大于所述成像光学系统的(31)的入射光瞳面(30)离所述物场(4)的间距(B)，所述光瞳面(30)位于所述物场(4)上游的成像光(30)的光束路径中。
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